Độ dày wafer bán dẫn & Phân tích chiều cao bước chính xác
Micro Precision sử dụng công nghệ tiên tiến nhất để thực hiện phân tích độ dày và chiều cao bước của tấm bán dẫn bằng cách kết hợp các phương pháp định hình bề mặt và phép đo hình elip đã được công nhận. Phòng thí nghiệm của chúng tôi ở Richardson, TX được ANAB công nhận để thực hiện các phép đo được ISO/IEC 17025-2017 công nhận.
Độ dày wafer và phân tích chiều cao bước là những thành phần quan trọng được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Máy đo elip là gì?
Máy đo elip quang phổ góc thay đổi VASE® có bước sóng được điều khiển bằng máy tính và lựa chọn góc tới. Đèn Xenon cung cấp ánh sáng từ tia cực tím (UV) đến tia hồng ngoại gần (NIR). Các bước sóng riêng lẻ được chọn bằng máy đơn sắc hai buồng. Máy dò Si/InGaAs xếp chồng lên nhau được sử dụng từ 193nm đến 1700nm. Sự phát triển gần đây của máy dò InGaAs mở rộng cho phép đo tới 2500nm. VASE® sử dụng cấu hình máy đo elip phân tích xoay (RAE) với việc bổ sung AutoRetarder™ đã được cấp bằng sáng chế của JJ Woolam
Định nghĩa Ellipsometry:
Phép đo elip là việc sử dụng ánh sáng phân cực để mô tả màng mỏng và vật liệu khối. Sự thay đổi độ phân cực được đo sau khi phản chiếu ánh sáng từ bề mặt. Độ dày màng mỏng (t) và hằng số quang học (n, k) được suy ra từ phép đo.
Thông tin thu được từ mỗi lớp tương tác với phép đo. Ánh sáng trở lại từ giao diện chất nền phim ảnh hưởng đến sự phản xạ bề mặt để cung cấp thông tin lớp.
Khả năng phân tích chiều cao bước được công nhận
Tiêu chuẩn bề mặt và hồ sơ bút stylus:
Máy biên dạng bút stylus là công cụ đo lường linh hoạt để nghiên cứu địa hình bề mặt. Máy đo biên dạng dựa vào bút kim loại có đường kính nhỏ với đầu kim cương hoặc vật liệu composite để quét bề mặt của mẫu. Trong quá trình quét, bút stylus tiếp xúc trực tiếp với bề mặt để thu được dữ liệu với độ chính xác và độ lặp lại rất cao. Giai đoạn bút định hình di chuyển mẫu một cách tuyến tính dưới bút stylus để thu được các phép đo của cấu hình bề mặt. Khi chạm vào các đặc điểm bề mặt, bút stylus sẽ di chuyển theo chiều dọc để đo các đặc điểm khác nhau.
Những tiến bộ mới trong công nghệ bút định hình đã được phát triển để thu nhỏ hình học. Chúng bao gồm Cảm biến quán tính thấp cho khả năng lặp lại chiều cao bước vô song. Việc kết hợp các cải tiến phần mềm và các chức năng cân bằng chương trình đảm bảo đo lường chính xác nhất quán với độ không đảm bảo tối thiểu.
Hiệu chỉnh chiều cao bước chính xác:
Khả năng đo lường được thiết lập với việc sử dụng hệ thống cấu hình bề mặt, kết hợp với các tiêu chuẩn có thể theo dõi và tham chiếu của NIST được sử dụng để đo cấu hình chiều cao bước tổng thể.
Dektak 3®
Bộ định hình bề mặt với bàn hút chân không mẫu 6,5″, dịch mẫu XY 3″x6″, bàn soi thủ công, độ phân giải dọc 1A, dải dọc tối đa 131um, chiều dài quét 50um đến 50mm, tối đa 8.000 điểm mỗi lần quét, dải lực bút stylus có thể lập trình 1mg-40mg.
Khả năng chiều cao bước và wafer bán dẫn
ANAB được công nhận theo tiêu chuẩn ISO/IEC 17025-2017 Năng lực được công nhận:
- Tiêu chuẩn về độ dày của wafer bán dẫn
- Chiều cao bước chính xác của chất bán dẫn
Thông số / Thiết bị | Phạm vi | Mở rộng độ không đảm bảo đo lường (+/-) | Được công nhận (ISO/IEC 17025, Z540.3) |
---|---|---|---|
Độ dày của wafer | (3,0 đến 1500)nm | 0,32nm | Máy đo elip và tấm wafer tiêu chuẩn |
Tiêu chuẩn chiều cao bước chính xác | (100 đến 1000)A (>1 đến 250)kA | 17A | Surface Profiler và Standard Step |
Khả năng khác
Micro Precision có thể thực hiện các dịch vụ hiệu chuẩn thiết bị trên thiết bị từ nhiều ứng dụng cho các ngành và lĩnh vực kinh doanh cụ thể. Nếu bạn có nhu cầu hiệu chuẩn không được liệt kê trong khu vực này, vui lòng liên hệ với chúng tôi.
Tiêu chuẩn phòng thí nghiệm
Các tiêu chuẩn phòng thí nghiệm hiệu chuẩn rất quan trọng đối với các phép đo chính xác nhất của tổ chức bạn.
quang học
Dịch vụ phòng thí nghiệm hiệu chuẩn quang học, ánh sáng và sợi quang được Micro Precision công nhận.
Hóa chất
Các dịch vụ phòng thí nghiệm hiệu chuẩn hóa học và nhiệt động học được Micro Precision công nhận với các khả năng về nhiệt độ, độ ẩm, khoa học đời sống và dược phẩm.
RF - Lò vi sóng
Dịch vụ phòng thí nghiệm hiệu chuẩn RF & vi sóng được Micro Precision công nhận.
điện
Dịch vụ phòng thí nghiệm hiệu chuẩn điện được Micro Precision công nhận với đồng hồ vạn năng, bộ hiệu chuẩn đa chức năng, máy hiện sóng và khả năng cung cấp điện.
Cơ khí & Kích thước
Các dịch vụ phòng thí nghiệm hiệu chuẩn cơ học và kích thước được Micro Precision công nhận với khả năng chịu áp suất, mô-men xoắn, lực, lưu lượng, vận tốc và kích máy bay.
Yêu cầu báo giá
"*" indicates required fields