Phân tích độ dày tấm bán dẫn và độ dày các lớp

Micro Precision sử dụng công nghệ hiện đại để thực hiện phân tích độ dày của tấm bán dẫn bằng cách kết hợp phương pháp đo ellipsometry và phương pháp định hình bề mặt. Phòng thí nghiệm của chúng tôi ở Richardson, TX được ANAB công nhận để thực hiện hiệu chuẩn theo tiêu chuẩn ISO / IEC 17025:2017.

Phân tích độ dày và độ cao bước sóng là những yếu tố quan trọng được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn.

ellipsomoter-semiconducter-waffer-thickness-measurement

Ellipsometer là gì?

Máy đo VASE® Ellipsometer đo độ dày và chỉ số khúc xạ không tiếp xúc của màng mỏng trong suốt và bán trong suốt với độ chính xác cao, có tính năng lựa chọn bước sóng và góc tới được điều khiển bởi máy tính. Đèn Xenon cung cấp ánh sáng từ tia cực tím (UV) đến tia hồng ngoại gần (NIR). Các bước sóng riêng lẻ được chọn bằng bộ đơn sắc hai buồng. Một máy dò Si / InGaAs sử dụng từ 193nm đến 1700nm. Sự phát triển gần đây của máy dò InGaAs cho phép đo tới 2500nm. VASE® sử dụng cấu hình Rotating Analyzer Ellipsometer (RAE) với việc bổ sung AutoRetarder™ được cấp bằng sáng chế của JJ Woolam

Yêu cầu báo giá

Năng lực hiệu chuẩn máy phân tích độ dày các lớp

Máy định hình Stylus và các tiêu chuẩn bề mặt:

Máy định hình Stylus là thiết bị đo để nghiên cứu địa hình bề mặt. Bộ định hình dựa vào một bút kim loại có đường kính nhỏ với đầu kim cương hoặc vật liệu composite để quét bề mặt của mẫu. Trong quá trình quét, bút stylus tiếp xúc trực tiếp với bề mặt để thu được dữ liệu với độ chính xác và độ lặp lại rất cao. Bút stylus di chuyển trên bề mặt mẫu để thu được kết quả đo của biên dạng bề mặt. Khi gặp các khác biệt trên bề mặt, bút stylus sẽ di chuyển theo chiều dọc để đo các đặc điểm khác biệt.

Những tiến bộ mới trong công nghệ máy định hình Stylus đã được phát triển để thu nhỏ thiết bị lại. Việc kết hợp các cải tiến phần mềm và chức năng phân cấp chương trình đảm bảo phép đo chính xác nhất quán với độ không đảm bảo đo nhỏ nhất.

Hiệu chuẩn máy phân tích độ dày chính xác:

Năng lực hiệu chuẩn được thiết lập bằng việc sử dụng hệ thống định dạng bề mặt, hệ thống này kết hợp với các chuẩn có thể liên kết và tham chiếu đến Viện Tiêu chuẩn và Kỹ thuật quốc gia Mỹ (NIST) được sử dụng để đo độ dày các lớp tổng thể.

Dektak 3®

Máy định hình bề mặt với đoạn chân không mẫu 6,5 inch, bản dịch mẫu 3″x6″XY, đoạn thủ công, độ phân giải dọc 1A, phạm vi dọc tối đa 131um, chiều dài quét từ 50um đến 50mm, tối đa 8.000 điểm mỗi lần quét, phạm vi lực bút cảm ứng 1mg-40mg.

Yêu cầu báo giá

Khả năng bán dẫn Wafer & Chiều cao bước

Năng lực được công nhận bởi ANAB theo tiều chuẩn ISO/IEC 17025-2017:

  • Độ dày miếng bán dẫn chuẩn
  • Máy phân tích độ dày các lớp bán dẫn
Thông số / Thiết bị Phạm vi Độ không đảm bảo đo mở rộng (+/-) Chứng nhận (ISO/IEC 17025, Z540.3)
Độ dày Wafer (3.0 to 1500)nm 0.32nm Ellipsometer và Wafer chuẩn
Chuẩn phân tích độ dày chính xác (100 to 1000)A (>1 to 250)kA 17A Máy định hình bề mặt

Năng lực khác

Micro Precision còn có năng lực hiệu chuẩn thiết bị cho nhiều ngành công nghiệp và lĩnh vực khác nhau. Nếu quý khách hàng có các nhu cầu hiệu chuẩn khác không nằm trong danh sách liệt kê ở trên, vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Chuẩn phòng thí nghiệm

Các tiêu chuẩn của phòng thí nghiệm hiệu chuẩn rất quan trọng đối với các phép đo chính xác nhất của tổ chức bạn.

Tìm hiểu thêm

Quang học

Micro Precision dịch vụ phòng thí nghiệm hiệu chuẩn quang học, ánh sáng và cáp quang được công nhận.

Tìm hiểu thêm

Hóa chất

Micro Precision các dịch vụ phòng thí nghiệm hiệu chuẩn nhiệt động lực học và hóa học được công nhận với các năng lực về nhiệt độ, độ ẩm, khoa học đời sống và dược phẩm.

Tìm hiểu thêm

RF - Lò vi sóng

Micro Precision dịch vụ phòng thí nghiệm hiệu chuẩn vi sóng & RF được công nhận.

Tìm hiểu thêm

Điện

Micro Precision dịch vụ phòng thí nghiệm hiệu chuẩn điện được công nhận với khả năng đo vạn năng, máy hiệu chuẩn đa năng, máy hiện sóng và cung cấp điện.

Tìm hiểu thêm

Cơ học & Kích thước

Micro Precision các dịch vụ phòng thí nghiệm hiệu chuẩn cơ học và kích thước được công nhận với khả năng áp suất, mô-men xoắn, lực, lưu lượng, vận tốc và tải trọng của kích máy bay.

Tìm hiểu thêm

Yêu cầu báo giá

Dành cho tất cả nhu cầu hiệu chuẩn thiết bị của quý khách hàng.